(1)滅菌室：該部分為滅菌器的核心承壓部件，是運行滅菌過程的載體。通常由腔體、艙門等組成一個密閉的空間。若具有等離子功能還配有網狀電極。通過管路與真空系統、注入系統、進氣系統等相連接。
(2)真空系統：該部分實現對滅菌室的抽真空等功能。真空性能與過氧化氫的汽化、擴散穿透效果密切相關。通常由真空泵、壓力傳感器、油霧過濾器、過氧化氫氣體過濾器、抽空控制閥等組成。真空泵和壓力傳感器是實現真空的核心部件，影響真空性能的優劣。
(3)加注系統：該部分實現對過氧化氫滅菌劑的存放、定量、加注。
(4)汽化系統：該部分實現將加注的液態過氧化氫充分汽化，并均勻擴散到滅菌室內。目前產品大多采用先將過氧化氫溶液提純，然后再汽化；也有部分產品采用直接汽化的方式。提純過程就是將低濃度的過氧化氫提高到較高濃度。過氧化氫氣體在擴散過程中會不斷分解，純度提高后，有利于提高氣體的穿透能力，以保證滅菌效果。通常由提純裝置、加熱裝置(加熱膜、加熱棒等)、汽化室、電磁閥、溫度檢測裝置等組成。
(5)控制系統：該部分實現對滅菌過程的壓力、溫度、時間等過程參數的控制、顯示、輸出，達到滅菌所需的量值和精度，并對預設周期參數進行監控。通常由控制裝置、顯示裝置、數據記錄裝置等組成。
更新日期：2023-02-26 
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